金属碳氮化物层和生成金属碳氮化物层的方法

摘要

本发明涉及到覆盖工具或者工具的部分、特别是覆盖像刀片一样的切割元件的方法，其中，准备基体并且在这上面覆盖一层或多层覆层，至少一层是由包括钛、锆、铪、钒、铌、钽和/或者铬的一种或多种金属的金属碳氮化物构成，并且是借助于含有甲烷、氮和一种或者多种金属化合物的气体来沉积的。为了得到在这上面可以沉积具有高附着强度的额外的层并且具有高耐磨性的金属碳氮化物层，根据本发明建议，在基体温度为850至950℃时开始沉积金属碳氮化物层，这之后，基体温度至少提高40℃，并且沉积过程至少不时地在提高的温度下还继续进行。此外，本发明还涉及覆盖在物体上的金属碳氮化物层，以及工具或者工具的部分、特别是像刀片一样的切割元件，用施加于基体的一层或多层来包围所述基体，其中至少一层呈现为具有纳米-复合结构的金属碳氮化物层。

主权项

一种覆盖工具或者工具的部分的方法，其中，准备一个基体并且在所述基体上覆盖一层或多层覆层，其中至少一层是由包括钛、锆、铪、钒、铌、钽和/或者铬的一种或者多种金属的金属碳氮化物构成，在这里，在基体温度为850至950℃时开始沉积所述金属碳氮化物层，这之后，基体温度至少提高40℃，并且沉积过程至少不时地在提高的温度下还继续进行，其特征在于，所述覆层借助于由甲烷、氮、氢和一种或多种金属化合物组成的气体来沉积，基体温度在沉积开始之后350分钟之内达到所述提高的温度，以及在达到所述提高的温度后，沉积至少继续进行60分钟。