大型平面的超精密自动化加工装置

摘要

大型平面的超精密自动化加工装置，包括工作台，卧式磨头机构，横向驱动机构和纵向驱动机构；卧式磨头机构包括磨头和与磨头连接的磨头电机；横向驱动机构包括沿工件横向设置的丝杠机构，和与丝杠机构的螺母固接的托板；托板上设有气缸，气缸推杆的顶推动与连接件固接，连接件与磨头电机固接，纵向驱动机构包括沿工件纵向设置的导轨，与导轨滑动连接的滑座，和推动滑座沿导轨滑动的动力机构；横向驱动机构固定于滑座上。本实用新型具有加工效率高，加工精度高，且对加工机床精度要求不高的优点。

主权项

大型平面的超精密自动化加工装置，其特征在于：包括放置工件的工作台，倾斜设置的、用于研磨工件的卧式磨头机构，带动所述的卧式磨头机构沿工件的横向往复移动的横向驱动机构和带动所述的磨头机构沿工件的纵向往复移动的纵向驱动机构；所述的卧式磨头机构包括磨头和与所述的磨头连接的磨头电机；所述的横向驱动机构包括沿工件横向设置的丝杠机构，和与丝杠机构的螺母固接的托板；所述的托板上设有气缸，气缸推杆的顶推动与气缸连接件固接，所述的气缸连接件与所述的磨头电机固接；所述的纵向驱动机构包括沿工件纵向设置的导轨，与所述的导轨滑动连接的滑座，和推动所述的滑座沿所述的导轨滑动的动力机构；所述的横向驱动机构固定于所述的滑座上。