HEATER, WAFER HEATING DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE HEATER

摘要

(해결수단) 상기 목적을 해결하기 위해서, 본 발명은, 판상체와, 그 판상체의 표면에 형성되어, 저항치를 조절하기 위한 홈부를 갖는 띠형상의 저항발열체와, 상기 판상체의 표면에 형성되어, 상기 홈부의 위치 결정의 기준이 되는 위치 결정 표시부를 구비한 히터로 한다.