发明名称 Verlagerungserfassungsvorrichtung
摘要 Eine Verlagerungserfassungsvorrichtung weist ein Beugungsgitter (2), Gitterinterferometer (4, 5) und Abschnitte (6, 7) zur Ausgabe von Informationen über die relative Lage auf. Die Gitterinterferometer (4, 5) weisen eine Lichtquelle (3), Reflektoren (12, 13), einen Strahlteiler (17) und Lichtempfangsabschnitte (18, 19) auf. Die Reflektoren (12, 13) reflektieren durch das Beugungsgitter (2) gebeugte Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung und veranlassen, dass die reflektierten gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung im Wesentlichen bei einer selben Stelle wie der Stelle, bei der das Licht (L) von der Lichtquelle (3) eingestrahlt wird, einfallen. Darüber hinaus veranlassen die Reflektoren (12, 13), dass die gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung auf das Beugungsgitter (2) unter einem Winkel einfallen, der sich entweder von dem Einfallswinkel des von der Lichtquelle (3) auf das Beugungsgitter (2) einfallenden Lichts oder von dem Winkel, bei dem die gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung durch das Beugungsgitter (2) durchgelassen oder von ihm reflektiert werden, unterscheidet.
申请公布号 DE102011076990(A1) 申请公布日期 2011.12.22
申请号 DE201110076990 申请日期 2011.06.06
申请人 MORI SEIKI CO., LTD. 发明人 TAMIYA, HIDEAKI
分类号 G01B9/02;G01D5/38 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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