摘要 |
Eine Verlagerungserfassungsvorrichtung weist ein Beugungsgitter (2), Gitterinterferometer (4, 5) und Abschnitte (6, 7) zur Ausgabe von Informationen über die relative Lage auf. Die Gitterinterferometer (4, 5) weisen eine Lichtquelle (3), Reflektoren (12, 13), einen Strahlteiler (17) und Lichtempfangsabschnitte (18, 19) auf. Die Reflektoren (12, 13) reflektieren durch das Beugungsgitter (2) gebeugte Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung und veranlassen, dass die reflektierten gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung im Wesentlichen bei einer selben Stelle wie der Stelle, bei der das Licht (L) von der Lichtquelle (3) eingestrahlt wird, einfallen. Darüber hinaus veranlassen die Reflektoren (12, 13), dass die gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung auf das Beugungsgitter (2) unter einem Winkel einfallen, der sich entweder von dem Einfallswinkel des von der Lichtquelle (3) auf das Beugungsgitter (2) einfallenden Lichts oder von dem Winkel, bei dem die gebeugten Lichtstrahlen (L1, L2) 1. Ordnung durch das Beugungsgitter (2) durchgelassen oder von ihm reflektiert werden, unterscheidet.
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