主权项 |
一种热处理装置,包括:隔热室,具有被处理物被收纳的热处理部、加热器被设置的空调部、以及连通上述热处理部和上述空调部的连通路径,藉由一边使空气经过该连通路径而在上述热处理部和上述空调部之间被循环、一边进行加热,对上述被处理物进行热处理;吸气管,用来吸入外部空气至上述隔热室内;导出管,藉由使上述热处理部内的空气流出,进行上述隔热室内的换气;以及触媒,被设置于上述导出管,可分解对上述被处理物进行热处理时从该被处理物产生的昇华物;其中上述导出管具有将从上述热处理部流出的空气直接排放至外部的排气管及从上述排气管分支出来连接至上述吸气管并透过上述吸气管将从上述热处理部流出的空气再度送进热处理部内的回流管,上述触媒设置于相对于上述排气管上的回流管所分支出来的位置为上游的部分或回流管。 |