用水蒸气和稀释气体强化的氢灰化制程

主权项

一种灰化制程，包括一主要灰化步骤，该主要灰化步骤系将一主要灰化气体的一电浆施加至一基板上，该主要灰化气体包括：一第一量的一还原气体，选自由氢气和氨气所组成的群组；大于该第一量之一第二量的水蒸气；以及大于该第二量之一第三量的一稀释气体，选自由氩气和氦气所组成的群组；且不含一有效量的氧气。