化学机械抛光用纳米氧化铈浆液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光用纳米氧化铈浆液及其制备方法，所述纳米氧化铈浆液，含有如下重量份的组分：酸性pH调节剂10-25份，分散剂0.1-0.8份，纳米氧化铈粉末74.2-89.8份。与现有技术相比，本发明提供的纳米氧化铈抛光液具有氧化铈中位粒径小，粒度分布范围窄，耐磨性高，抛光选择性高，制品精度高等优点。

主权项

化学机械抛光用纳米氧化铈浆液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)草酸铈晶种的制备：将可溶性铈盐的水溶液与草酸铵溶液混和，进行第一次沉淀反应，收集生成的草酸铈晶种；(2)纳米氧化铈粉末的制备：然后将所述的草酸铈晶种、表面活性剂和可溶性铈盐溶液混合，再加入碳酸盐水溶液至pH＝6～7，进行第二次沉淀反应，收集沉淀，焙烧，得到纳米晶氧化铈粉末，然后收集沉淀；(3)化学机械抛光用氧化铈浆液的制备：将74‑90份所述纳米氧化铈粉末、10‑25份酸性pH调节剂、0.1‑0.8份分散剂和水混合，分散，即可得产品。