发明名称 FINE PATTERN TRANSFER MATERIAL
摘要
申请公布号 KR101095797(B1) 申请公布日期 2011.12.21
申请号 KR20097018723 申请日期 2008.02.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/075;B82B3/00;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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