一种光学位移传感器

摘要

本发明基于石英晶体旋光效应原理，提出一种光学位移传感器。传感器采用正、负两块等腰直角三角型石英晶体棱镜，将位移变化转化为旋光角度的变化，进而通过检测接收光强得到位移信息。该传感器包括顺序排列的激光器(1)，第一偏振分束棱镜(2)，位移传感元件(3)，第二偏振分束棱镜(4)，第一光电探测器(5)，第二光电探测器(6)，除法运算器(7)；其中传感元件(3)由上下两块形状、性能完全相同的旋光率分别为正、负的等腰直角三角型第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)组成，第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)相对的两底面用光学胶胶合成为一整体，第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)的光轴方向垂直于其相对的两底面。

主权项

一种光学位移传感器，其特征在于该传感器包括顺序排列的激光器(1)，第一偏振分束棱镜(2)，位移传感元件(3)，第二偏振分束棱镜(4)，第一光电探测器(5)，第二光电探测器(6)，除法运算器(7)；其中传感元件(3)由上下两块形状、性能完全相同的旋光率分别为正、负的等腰直角三角型第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)组成，第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)相对的两底面用光学胶胶合成为一整体，第一石英晶体棱镜(A)和第二石英晶体棱镜(B)的光轴方向垂直于其相对的两底面。