垂直入射宽带光谱仪

摘要

本发明提供一种垂直入射光谱仪。该垂直入射光谱仪包括光源、分光元件、聚光单元、第一平面反射元件和探测单元，其中：分光元件设置于聚光单元和探测单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过第一平面反射元件和聚光单元的光束并将该光束反射至探测单元；聚光单元用于通过分光元件接收来自光源的光束并使该光束变成会聚光束；第一平面反射元件用于接收会聚光束并将会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过第一平面反射元件、聚光单元和分光元件的光束。该垂直入射宽带光谱仪结构简单，不仅易于调节聚焦，还可实现无色差，且可保持探测光束偏振状态。

主权项

一种垂直入射光谱仪，其特征在于，该垂直入射光谱仪包括光源、分光元件、聚光单元、第一平面反射元件和探测单元，其中：所述分光元件设置于所述聚光单元和所述探测单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至所述聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过所述第一平面反射元件和所述聚光单元的光束并将该光束反射至所述探测单元；所述聚光单元用于通过所述分光元件接收来自光源的光束并使该光束变成会聚光束；所述第一平面反射元件用于接收所述会聚光束并将所述会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及所述探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过所述第一平面反射元件、所述聚光单元和所述分光元件的光束。