试剂分配装置及输送方法

摘要

本发明涉及可用于分配气相或液相试剂的气相或液相试剂分配装置，所述气相或液相试剂例如是用于在半导体材料和器件的制造中沉积材料的前驱体。气相试剂分配装置具有能够接收载气和分配气相试剂的单个端口。液相试剂分配装置具有能够接收惰性气体和分配液相试剂的单个端口。

主权项

一种气相试剂分配装置，包括：器皿，其包括被设置用于构成内部器皿室的器皿顶壁元件、器皿侧壁元件和器皿底壁元件，以容纳高至灌装线的源化学品并另外限定出灌装线以上的内部气体容积；所述器皿顶壁元件具有能够接收载气和分配气相试剂的单个端口；所述单个端口具有分支结构，包括基本竖直延伸并且处于所述顶壁元件外部的第一端口部分、基本水平延伸并且处于所述第一端口部分外部的第二端口部分以及基本竖直延伸并且处于所述第二端口部分外部的第三端口部分；所述第一端口部分具有端口顶壁元件和端口侧壁元件，所述端口顶壁元件具有鼓泡器从其延伸穿过的开口；所述鼓泡器包括穿过所述第一端口部分中的居中定位部分并且穿过所述内部气体容积伸入源化学品内的导管，并且通过所述导管可以将载气鼓入源化学品内以促使至少一部分源化学品蒸气被带入所述载气中，从而生成气相试剂流送往灌装线以上的所述内部气体容积中，所述导管具有基本竖直定位并且处于所述第一端口部分外部的入口端以及基本上邻近器皿底壁元件定位的出口端；以及所述第一端口部分在所述导管和所述端口侧壁元件之间具有孔隙空间，可以通过所述孔隙空间从所述器皿的内部气体容积中分配所述气相试剂。