反射镜角度定位装置和加工装置

摘要

本发明公开了反射镜角度定位装置和加工装置，该反射镜角度定位装置包括：被配置旋转反射镜的马达；被配置为检测反射镜的旋转角度的检测器；和控制器，该控制器被配置为向马达供给电流以使得反射镜的旋转角度到达目标角度，基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计被供给电流的反射镜的歪斜角度，并且，如果估计的角度超过容许值，那么执行调整对于马达的电流供给的处理，使得反射镜的歪斜角度落入容许值内。

主权项

一种用于反射镜的角度定位的装置，所述装置包含：第一反射镜；第一马达，被配置用于旋转第一反射镜；第一检测器，被配置用于检测第一反射镜的旋转角度；第一控制器，被配置用于向第一马达供给电流以使得第一反射镜的旋转角度达到目标角度，基于表示向第一马达供给的电流的值和第一反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计在向第一马达供给所述电流的情况下的第一反射镜的歪斜角度，并且如果被估计的角度超过容许值，则执行用于调整向第一马达的电流供给以使得第一反射镜的歪斜角度落入所述容许值内的处理。