| 发明名称 | 为室门提供浮动密封的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种方法，它包括使密封表面与室的室壁隔离，并且在密封表面和室壁之间将室密封。本发明还提供一种装置，其包括易于偏移挠曲的室壁部分，提供密封表面的固定部分，和连接到室壁部分和固定部分的柔性膜盒。本发明还提供一种系统，其包括：室，该室包括具有开口的室壁；配置用于密封开口的门；相邻于开口并与室壁隔离的密封表面；密封表面和室壁之间的密封。 | ||
| 申请公布号 | CN1789485B | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN200510106737.2 | 申请日期 | 2005.08.02 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | B·C·梁;D·E·博克斯特瑞瑟;S·库利塔 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;F16J15/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 马洪 |
| 主权项 | 一种提供浮动密封的方法，包括：将一密封表面与一室的室壁隔离；并且在密封表面和室壁之间将室密封；其中，所述将室密封包括使用柔性膜盒来密封密封表面和室壁间的间隙。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||