发明名称 | 晶圆级封装结构及封装方法 | ||
摘要 | 一种晶圆级封装结构及封装方法,其中晶圆级封装方法包括:提供待封装晶圆,所述晶圆表面形成有多个分立焊垫;在所述焊垫表面形成导电的等高柱;在所述等高柱表面形成凸点。本发明提供的晶圆级封装方法工艺简单,本发明提供的晶圆级封装结构封装质量高。 | ||
申请公布号 | CN102270590A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
申请号 | CN201110257344.7 | 申请日期 | 2011.09.01 |
申请人 | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 | 发明人 | 王宥军;俞国庆;杨红颖;王蔚 |
分类号 | H01L21/60(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
主权项 | 一种晶圆级封装方法,包括:提供待封装晶圆,所述晶圆表面形成有多个分立焊垫;其特征在于,还包括:在所述焊垫表面形成导电的等高柱;在所述等高柱表面形成凸点。 | ||
地址 | 215026 江苏省苏州市苏州工业园区汀兰巷29号 |