薄膜的制造装置和制造方法

摘要

本发明提供通过维持坩埚中的成膜材料的熔液状态并且倾动坩埚，能够从坩埚将大致总量的成膜材料排出并防止坩埚的开裂破损的薄膜的制造装置。该装置具有：为保持成膜材料(3)而具有上部具备开口部的收容部的成膜源9；通过对收容部中的成膜材料照射电子束(6)而将成膜材料熔融形成熔液，并且使成膜材料蒸发的电子枪(5)；通过使成膜源(9)从成膜时的姿势倾动到不能够在收容部内保持熔液的倾斜姿势而从收容部排出熔液的倾动机构(8)；用于收容成膜源和倾动机构并在内部在基板上形成薄膜的真空槽(22)；和将真空槽内排气的真空泵(34)，倾动成膜源(9)的轨迹或电子束(6)的轨道被控制以使得在将成膜源(9)从成膜时的姿势倾动到倾斜姿势的期间继续地对收容部中的熔液照射电子束(6)。

主权项

一种薄膜的制造装置，具有：成膜源，其为了保持成膜材料而具有收容部，所述收容部在上部具备开口部；电子枪，其通过对所述收容部中的所述成膜材料照射电子束来将所述成膜材料熔融而形成熔液，并且使所述成膜材料蒸发；倾动机构，其通过使所述成膜源从成膜时的姿势倾动到不能够在所述收容部内保持所述熔液的倾斜姿势而从所述收容部排出所述熔液；真空槽，其用于收容所述成膜源和所述倾动机构，并在内部在基板上形成薄膜；和真空泵，其将所述真空槽内排气，倾动所述成膜源的轨迹或者所述电子束的轨道被控制，以使得将所述成膜源从所述成膜时的姿势倾动到所述倾斜姿势的期间继续地对所述收容部中的所述熔液照射所述电子束。