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发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101091468(B1) 申请公布日期 2011.12.07
申请号 KR20090040725 申请日期 2009.05.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/24;H01L21/8247 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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