一种三氯氢硅合成炉冷却系统及三氯氢硅合成炉

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉冷却系统，包括：冷却水进水管，上方具有开口的出蒸汽管，充有惰性气体的惰性气体套管和压力感应装置；所述冷却水进水管的管体位于所述出蒸汽管内部；所述冷却水进水管的进水口从所述出蒸汽管的侧壁伸出；惰性气体套管套在所述出蒸汽管的外部；所述惰性气体套管的外壁上设置有进气口和所述压力感应装置。本实用新型还公开了一种三氯氢硅合成炉。采用本实用新型所公开的三氯氢硅合成炉冷却系统及三氯氢硅合成炉，能够防止出蒸汽管被磨穿，并且在惰性气体套管被磨穿等情况下，能够通过观察压力感应装置的读数及时发现，提高三氯氢硅合成炉设备的安全性。

主权项

一种三氯氢硅合成炉冷却系统，其特征在于，包括：冷却水进水管，上方具有开口的出蒸汽管，充有惰性气体的惰性气体套管和压力感应装置；所述冷却水进水管的管体位于所述出蒸汽管内部；所述冷却水进水管的进水口从所述出蒸汽管的侧壁伸出；惰性气体套管套在所述出蒸汽管的外部；所述惰性气体套管的外壁上设置有惰性气体进气口和所述压力感应装置。