发明名称 非易失性存储器件及其制造方法
摘要 本发明公开一种非易失性存储器件,包括:管绝缘层,所述管绝缘层具有管沟道孔;管栅,所述管栅位于管绝缘层之上;一对单元串,所述一对单元串中的每个单元串具有柱状单元沟道;和管沟道,所述管沟道使柱状单元沟道耦合并包围管沟道孔的内侧壁和底部。
申请公布号 CN102263109A 申请公布日期 2011.11.30
申请号 CN201010502529.5 申请日期 2010.10.11
申请人 海力士半导体有限公司 发明人 李起洪;洪权;辛大圭
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 郭放;黄启行
主权项 一种非易失性存储器件,包括:管绝缘层,所述管绝缘层具有管沟道孔;管栅,所述管栅位于所述管绝缘层之上;一对单元串,所述一对单元串中的每个单元串具有柱状单元沟道;和管沟道,所述管沟道使所述柱状单元沟道耦合,并包围所述管沟道孔的内侧壁和底部。
地址 韩国京畿道