传送台机构

摘要

一种传送台机构包括一上滑座平台、一下滑座平台、一中滑座平台以及一传动元件。下滑座平台与上滑座平台具有一高度差。中滑座平台分别与上滑座平台及下滑座平台滑设连接。传动元件与中滑座平台耦接，且其一部分与上滑座平台固接。通过中滑座平台带动传动元件而使上滑座平台相对下滑座平台，两倍于该传动元件的传动距离运动。以此，传送台机构的上滑座平台可前伸至台车内，使掩模自台车转移至上滑座平台，然后通过上滑座平台的前伸至掩模储存台内，更可将置放于上滑座平台的掩模转移至储存盒内，因此可减少制程设备的成本。

主权项

一种传送台机构，包括：一上滑座平台；一下滑座平台，与该上滑座平台具有一高度差；一中滑座平台，分别通过一滑轨与该上滑座平台及该下滑座平台滑设连接；以及一传动元件，其为传动皮带或传动链条，该传动元件与该中滑座平台耦接，且该传动元件的一部分与该上滑座平台固接，通过该中滑座平台带动该传动元件而使上滑座平台相对下滑座平台，两倍于该传动元件的传动距离运动。