发明名称 ARC LAYER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101085279(B1) 申请公布日期 2011.11.22
申请号 KR20057013929 申请日期 2004.01.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F;G03F7/09;H01L21/302;H01L21/4763;H01L23/48;H01L23/58 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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