| 发明名称 | 基板处理装置和基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种维修性高、配置空间小的基板处理装置和基板处理系统。真空搬送室(4)具备搬送被处理体的基板S的基板搬送机构(41)，并且以俯视形状是五角形以上的多角形的方式由多个侧面包围。在上部具有盖体(52)的多个处理室(5a～5d)连接到所述多个侧面中除去在外侧具有维修区域(6)的侧面之外的侧面，盖体搬送机构(7)在所述处理室(5a～5d)与维修区域(6)之间搬送所述盖体(52)。 | ||
| 申请公布号 | CN102243987A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN201110114908.1 | 申请日期 | 2011.04.28 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 佐佐木芳彦;田中诚治 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其特征在于，包括：具有搬送作为被处理体的基板的基板搬送机构，以俯视形状呈五角形以上的多角形的方式由多个侧面包围的真空搬送室；连接至所述真空搬送室的多个侧面中除去在外侧具有维修区域的侧面之外的侧面，并在上部具有盖体的多个处理室；和在所述处理室与维修区域之间搬送所述盖体的盖体搬送机构。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||