| 发明名称 | 具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计及制作方法 | ||
| 摘要 | 一种具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计及制作方法，它包括通过键合连接在一起的衬底和加速度计总成，所述加速度计总成包括框架以及呈相互垂直布置于框架上的两个加速度计单元，所述每个加速度计单元包括呈对称布置的两个质量块，所述每个质量块上的一端通过一根主梁和两根微梁连接于框架上，所述每根微梁内均包含有一检测压阻，所述每个加速度计单元内四根微梁中的四个检测压阻构成惠斯通全桥结构。本发明进一步公开了上述具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计的制作方法。本发明是一种结构简单紧凑、加工简便、适用范围广、测量精度高的具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计及制作方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101692099B | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN200910044555.5 | 申请日期 | 2009.10.16 |
| 申请人 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 发明人 | 吴学忠;李圣怡;董培涛;侯占强;肖定邦;陈志华;崔红娟;牛正一 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人 | 周长清 |
| 主权项 | 一种具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计，其特征在于：它包括通过键合连接在一起的衬底(11)和加速度计总成(12)，所述加速度计总成(12)包括框架(3)以及呈相互垂直布置于框架(3)上的两个加速度计单元，所述每个加速度计单元均包括呈对称布置的两个质量块(5)，所述每个质量块(5)上的一端通过一根主梁(4)和两根微梁(6)连接于框架(3)上，所述每根微梁(6)内均包含有一检测压阻(7)，所述每个加速度计单元内四根微梁(6)中的四个检测压阻(7)构成惠斯通全桥结构；所述框架(3)设有一个以上的补偿电阻(8)，所述补偿电阻(8)通过并联或串联的方式与所述惠斯通全桥结构相连。 | ||
| 地址 | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院 | ||