发明名称 Verfahren zum Bilden einer Pufferschicht-Architektur auf Silizium und dadurch gebildete Strukturen
摘要
申请公布号 DE112009000917(A5) 申请公布日期 2011.11.10
申请号 DE200911000917T 申请日期 2009.06.08
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 HUDAIT, MANTU K.;TOLCHINSKY, PETER G.;CHOW, LOREN A.;LOUBYCHEV, DIMITRI;FASTENAU, JOEL M.;LIU, AMY W. K.
分类号 H01L21/20;H01L29/78 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址