避免激光退火边界效应的激光退火方法

摘要

本发明包括使用激光光束激光退火具有多裸片的晶片的方法、以具有多扫描路径、激光射击的扫描模式中的激光光束激光退火背面照明图像感测器的阵列的方法。每个互补金属氧化物半导体图像感测器具有感测器阵列区和周边电路。此方法借由感测器阵列区长度和周边电路长度决定激光光束的尺寸，使激光光束覆盖整数个感测器阵列区，至少一直排激光光束在背面照明图像感测器的阵列上。进一步决定扫描模式，使激光光束的边界在激光退火期间不会与感测器阵列区重叠只与周边电路重叠。当制造背面照明互补金属氧化物半导体图像感测器时决定激光光束尺寸和激光退火扫描模式的方法以避免在图像感测器的感测器阵列区内发生对应激光扫描边界效应的暗模式条纹图案。

主权项

一种使用激光光束激光退火具有多个裸片的晶片的方法，包括：接收上述裸片其中之一的第一子区的第一长度，其中此第一子区不允许与此激光光束的边界重叠；接收上述裸片其中之一的第二子区的第二长度，其中此第二子区允许与此激光光束的此边界重叠；接收扫描模式中邻近扫描路径之间的希望重叠；从此第一长度、此第二长度以及此希望重叠决定此激光光束的尺寸，使此激光光束的此尺寸为足够大以覆盖整数个此第一子区，而不会部分覆盖一额外第一子区；以及决定此激光光束的扫描模式，使此决定尺寸的此激光光束的此边界在此扫描模式下不会与此第一子区重叠。