晶舟转换器

摘要

本实用新型提供一种晶舟转换器，包含有底座，底座具有承载板，承载板上进一步形成沿第一方向分布的第一定位区与第二定位区，在第一定位区与第二定位区之间形成有预设的间隔部，并有第一阻挡装置设置于承载板上、且位于第二定位区远离间隔部的一端的外缘，而第一阻挡装置的高度大于间隔部的宽度，且第一阻挡装置形成有阻挡面，阻挡面朝向间隔部，第二定位区另包含第二阻挡装置，第二阻挡装置凸设于承载板上，藉此第一、第二阻挡装置可确保操作人员在放置晶舟及取卸晶舟时方向正确，以提升晶圆的安全性。

主权项

晶舟转换器，其特征在于包含有：一底座(10)，具有一承载板(11)、一第一定位导轨(12)、一第二定位导轨(13)、一第一导引装置(14)与一第二导引装置(15)，所述承载板(11)上进一步形成有沿一第一方向(X)分布的一第一定位区(17)与一第二定位区(18)，所述第一定位导轨(12)沿所述第一方向(X)设置于所述第一定位区(17)，所述第一导引装置(14)设置于所述第一定位区(17)的两侧，所述第二定位导轨(13)沿所述第一方向(X)设置于所述第二定位区(18)，所述第二导引装置(15)设置于所述第二定位区(18)的两侧；以及一晶圆推杆(19)，活动地设置于所述底座(10)、并可沿所述第一方向(X)自所述第一定位区(17)移动至所述第二定位区(18)；其特征在于：所述第一定位区(17)与所述第二定位区(18)之间形成有一预设的间隔部(20)；一第一阻挡装置(21)，设置于所述承载板(11)上、且位于所述第二定位区(18)远离所述间隔部(20)的一端的外缘，所述第一阻挡装置的高度(D1)大于所述间隔部的宽度(D2)，且所述第一阻挡装置(21)形成有一阻挡面(22)，所述阻挡面(22)朝向所述间隔部(20)；所述第二定位区(18)进一步包含一第二阻挡装置(23)，所述第二阻挡装置(23)凸设于所述承载板(11)上，且所述第二阻挡装置(23)的高度大于所述第二定位导轨(13)的高度。