中空阴极电浆处理装置

主权项

一种中空阴极电浆处理装置，系包括：一真空腔体，该真空腔体系具有一组帮浦抽气装置；一中空阴极电极，该中空阴极电极系放置于该真空腔体中央；一工件载具，该工件载具系可同时悬挂多组工件；以及一驱动装置，该驱动装置系用以连接该工件载具以驱动该工件载具转动。