发明名称 |
REALISATION D'UN DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE COMPRENANT DES NANO-FILS DE SILICIUM ET DE GERMANIUM INTEGRES SUR UN MEME SUBSTRAT |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2950481(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.28 |
申请号 |
FR20090056427 |
申请日期 |
2009.09.18 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
SARACCO EMELINE;DAMLENCOURT JEAN-FRANCOIS;HEITZMANN MICHEL |
分类号 |
H01L29/06;H01L21/335;H01L29/161 |
主分类号 |
H01L29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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