发明名称 REALISATION D'UN DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE COMPRENANT DES NANO-FILS DE SILICIUM ET DE GERMANIUM INTEGRES SUR UN MEME SUBSTRAT
摘要
申请公布号 FR2950481(B1) 申请公布日期 2011.10.28
申请号 FR20090056427 申请日期 2009.09.18
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 SARACCO EMELINE;DAMLENCOURT JEAN-FRANCOIS;HEITZMANN MICHEL
分类号 H01L29/06;H01L21/335;H01L29/161 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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