分束器装置和系统

摘要

本发明涉及一种分束器装置，所述分束器装置包括分束器和围绕所述分束器设置的多个棱镜。所述分束器装置被构造用于将入射激光束分离为多个具有基本相等能量并且以基本相等的光学路径长度穿过所述分束器装置的细光束。

主权项

一种用于将入射光束分离为多个细光束的光学装置，所述光学装置包括：第一立方体分束器，包括第一分光器部分；第二立方体分束器，包括第二分光器部分；第三立方体分束器，包括第三分光器部分；第一五棱镜，设置在所述第一和第二立方体分束器之间；第二五棱镜，设置在所述第一和第二分束器之间并且与所述第一五棱镜相对；第三五棱镜，设置在所述第二和第三分束器之间；以及第四五棱镜，设置在所述第二和第三分束器之间并且与所述第三五棱镜相对。