用于光学元件的支撑元件

摘要

本发明涉及特别适用于微光刻的、用于光学元件的支撑元件，其包括支撑构件、将支撑构件连接至外部支撑单元的第一连接元件和将支撑构件连接至光学元件的第二连接元件。所述支撑元件适于以动力学并联方式和其它支撑元件协作，以在六个自由度上将光学元件相对于外部支撑单元定位及定向。所述支撑构件包括多个第一弯曲接头，其中第一连接元件和/或第二连接元件至少包括第二弯曲接头，其中每个第一和第二弯曲接头限定弯曲轴。可通过多个第一和第二弯曲接头的方式在最多两个自由度上实现对光学元件相对于支撑单元的运动限制。每个第一和第二弯曲接头沿弯曲轴设计成长形。

主权项

一种光学模块，其具有‑支撑单元，‑用来相对于所述支撑单元保持和/或定位微光刻投射曝光系统的光学元件的至少一个双脚架，‑其中所述双脚架包括两个双脚架支架，所述每一个双脚架支架具有第一端，即支架脚，所述第一端被直接或间接地连接至所述支撑单元，且‑所述每一个双脚架支架具有第二端，即支架头，所述第二端被直接或间接地连接至光学元件，使得至少一个支架头与连接所述两个支架脚的连接线张成一双脚架平面，其中‑所述支架脚的间距可通过被保持在支承部上且经由连接单元与至少一个支架脚接合的至少一个杠杆来调节，所述杠杆可沿至少一个运动方向移动，其中‑所述杠杆的至少一个运动方向位于所述双脚架平面之外，且‑其中所述连接单元具有有着恰好一个弯曲平面的至少一个挠曲部，以使得所述挠曲部垂直于所述弯曲平面具有刚性结构。