模具的制造方法及其所用的电极结构

摘要

本发明的蛾眼用模具的制造方法包含：通过与铝膜或者铝基材的表面(10a)接触的电极对表面进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层的工序(a)；在工序(a)后，使多孔氧化铝层接触蚀刻液，由此使多孔氧化铝层的多个微细的凹部扩大的工序(b)；以及在工序(b)后，通过电极进一步对表面进行阳极氧化，由此使多个微细的凹部成长的工序(c)，工序(b)是在蚀刻液中在与表面接触的电极的部分(32a2)被控制为不接触蚀刻液的状态下进行。由此，可以防止起因于不均匀的腐蚀的缺陷的生成。

主权项

一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部，上述制造方法包含如下工序：(a)通过与铝膜或者铝基材的表面接触的电极对上述表面进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；(b)在上述工序(a)后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；(c)在上述工序(b)后，通过上述电极进一步对上述表面进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部成长，上述工序(b)是在上述蚀刻液中在与上述表面接触的上述电极的部分被控制为不接触上述蚀刻液的状态下进行。