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发明名称 METHOD FOR SEPARATING A SEMICONDUCTOR WAFER INTO INDIVIDUAL SEMICONDUCTOR DIES USING AN IMPLANTED IMPURITY
摘要
申请公布号 EP2156466(B1) 申请公布日期 2011.10.26
申请号 EP20070797548 申请日期 2007.05.17
申请人 AGERE SYSTEMS, INC. 发明人 HARRIS, EDWARD, B.;STEINER, KURT, G.
分类号 H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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