晶圆检查用探针构件，晶圆检查用探针卡及晶圆检查装置

主权项

一种晶圆检查用探针构件，其特征系具有：薄板状探针，其系由对应于配置有检查对象的晶圆中所形成的全部或一部份的积体电路的被检查电极之电极区域来形成复数个开口之金属的框板、及于该框板的表面以能够分别覆盖开口的方式来配置支持的复数个接点膜所构成，该各接点膜系于柔软的树脂所构成的绝缘膜上，露出于该绝缘膜表面的表面电极部及露出于背面的背面电极部藉由延伸于绝缘膜的厚度方向的短路部而连结成的复数个电极构造体会按照对应于上述被检查电极的图案来配置；及向异导电性连接器，其系由对应于上述电极区域来形成复数个开口的框板、及于该框板以能够分别阻塞一开口的方式来配置支持的复数个弹性向异导电膜所构成，配置于上述薄板状探针的背面；又，上述薄板状探针之框板的各开口系形成可容纳上述向异导电性连接器的弹性向异导电膜的面方向的外形之大小。