| 摘要 |
<p>본 발명은 수평방향에서 타원형으로 진동하는 모드를 이용하는 링 자이로스코프 및 그의 진동축 정렬방법에 관한 것으로, 본 발명과 관련된 MEMS 링 자이로스코프는, 링과, 링의 중심에 위치하는 앵커 및 링을 상기 앵커에 탄성적으로 지지하는 탄성연결부가 일체형으로 형성된 진동 구조체; 진동 구조체의 주위에 형성되는 복수의 전극; 및 진동 구조체의 최대변위 발생위치에 형성되는 질량결함부를 포함한다. 인위적으로 고정된 값의 질량결함부를 형성시키는 것이므로, 전기적인 방법의 축정렬에 비하여 매우 단순하며 그 축정렬의 효과가 사용온도와 무관하게 지속적으로 유지되는 장점이 있다.</p> |
