一种真空蒸镀装置

摘要

一种真空蒸镀装置，包括本体，在本体的顶端设有盖子，在盖子的下方设有隔板，本体的外部设为圆柱状，本体内底部设为锥形状，在本体的周边和底部设有加热套，在本体的底侧部设有电源；由于本实用新型采用了内锥式的本体和与之形状对应的加热套，改进了现有技术的有机材料仅从周边加热的技术缺陷，使得材料加热均匀，不易二次结晶固化，取得了防止堵孔，蒸镀速率稳定的良好效果；本装置特别适合有机发光二极管显示器件制备过程中的有机材料蒸镀。

主权项

一种真空蒸镀装置，包括本体(3)，其特征在于，在本体(3)的顶端设有盖子(1)，在盖子(1)的下方设有隔板(2)，本体(3)的外部设为圆柱状，本体(3)内底部设为锥形状(7)，在本体(3)的周边和底部设有加热套(4)，在本体(3)的底侧部设有与加热套(4)相连接的电源插座(6)。