紫外激光打孔的装置

摘要

本发明涉及紫外激光打孔的装置，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，扩束镜的输出端依次布置有第一反射镜和第二反射镜，第二反射镜的输出端布置有光束整形器，光束整形器的输出端布置有扫描振镜，扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有三维移动平台；紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经第一反射镜和第二反射镜后进入光束整形器，经整形的光束经扫描振镜后进入聚焦镜，在焦点处获得能量分布为平顶分布的聚焦光斑；聚焦后的光束焦点位于三维移动平台的加工工件上。紫外激光与材料作用时，通过打断材料的化学键使分子剥离，极大地减小热影响区域，获得很好的边缘加工效果。

主权项

紫外激光打孔的装置，包括激光器和扩束镜，其特征在于：所述激光器为紫外调Q固体激光器，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，所述扩束镜的输出端布置有第一反射镜，第一反射镜衔接第二反射镜，第二反射镜的输出端布置有光束整形器，光束整形器的输出端布置有扫描振镜，所述扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有三维移动平台；所述紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经第一反射镜和第二反射镜后进入光束整形器，光束整形器将激光焦点处能量分布为高斯分布的光斑转换为能量分布为平顶分布的光斑，平顶光束经扫描振镜后进入聚焦镜，聚焦后的光束焦点位于三维移动平台的加工工件上。