发明名称 HEATER FOR HEATING CHEMICAL LIQUID AND CHEMICAL LIQUID SUPPLY APPARATUS WITH IT
摘要
申请公布号 KR20110114016(A) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 KR20100033416 申请日期 2010.04.12
申请人 SEMES CO., LTD.;U M TECH CO., LTD. 发明人 LEE, SANG JIN;KANG, MIN SHIK;LEE, BONG MOON;YANG, KYUNG MO
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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