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发明名称
HEATER FOR HEATING CHEMICAL LIQUID AND CHEMICAL LIQUID SUPPLY APPARATUS WITH IT
摘要
申请公布号
KR20110114016(A)
申请公布日期
2011.10.19
申请号
KR20100033416
申请日期
2010.04.12
申请人
SEMES CO., LTD.;U M TECH CO., LTD.
发明人
LEE, SANG JIN;KANG, MIN SHIK;LEE, BONG MOON;YANG, KYUNG MO
分类号
H01L21/306;H01L21/02;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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