发明名称 |
一种硅单晶炉的热场系统 |
摘要 |
本发明公开了一种硅单晶炉的热场系统,包括设置在保温筒中的加热器,加热器中装有坩埚,坩埚底部有埚托支撑,埚托底部装有托杆轴,该托杆轴经保温筒底部伸出;在坩埚顶部设有导流筒,导流筒上开口与保温筒顶部开口对应;在筒形保温层顶部还设有保温盖,其特征在于,所述保温筒分为相互匹配并连接在一起的上保温筒、中保温筒和下保温筒,对应上、中、下保温筒的外侧分别包裹有上保温层、中保温层和下保温层;所述保温盖分为两层,分别为上保温盖和下保温盖。本发明通过保温筒和保温层的多级设置,改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性,有利于提高单晶棒的成晶质量。 |
申请公布号 |
CN102212875A |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN201110149281.3 |
申请日期 |
2011.06.03 |
申请人 |
无锡中能晶科光电科技股份有限公司 |
发明人 |
许大维;徐伟 |
分类号 |
C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 |
江苏圣典律师事务所 32237 |
代理人 |
贺翔 |
主权项 |
一种硅单晶炉的热场系统,包括设置在保温筒中的加热器(1),石墨坩埚(2),坩埚(2)底部有埚托(14)支撑,埚托(14)底部装有托杆轴(15),该托杆轴(16)经保温筒底部伸出;在坩埚(2)顶部设有导流筒(4),导流筒(4)上开口与保温筒顶部开口对应;在筒形保温层顶部还设有保温盖,其特征在于,所述保温筒分为相互匹配并连接在一起的上保温筒(5)、中保温筒(6)和下保温筒(7),对应上、中、下保温筒的外侧分别包裹有上保温层(11)、中保温层(12)和下保温层(13);所述保温盖分为两层,分别为上保温盖(9)和下保温盖(10)。 |
地址 |
214265 江苏省无锡市宜兴市芳桥工业集中区 |