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发明名称 PLASMA PROCESS UNIFORMITY MONITOR
摘要
申请公布号 KR20110112368(A) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20117016965 申请日期 2009.12.21
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 DZENGELESKI JOSEPH P.;GAMMEL GEORGE M.;LINDSAY BERNARD G.;SINGH VIKRAM
分类号 H01L21/66;H01L21/265 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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