发明名称 积体电路装置、形成及操作积体电路的方法、形成及操作半导体装置的方法
摘要
申请公布号 TWI350579 申请公布日期 2011.10.11
申请号 TW096143663 申请日期 2007.11.19
申请人 台灣積體電路製造股份有限公司 新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 发明人 王士纬
分类号 H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 一种积体电路装置,包括:一基底;一下电极,位于该基底上方,其中该下电极位于该基底上方之最低的金属层之中或其上方;一阻挡层,位于该下电极上方;一电荷陷捕层,位于该阻挡层上方;一绝缘层,位于该电荷陷捕层上方;一控制闸极,位于该绝缘层上方;一穿隧层,位于该控制闸极上方;以及一上电极,位于该穿隧层上。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号