发明名称 |
积体电路装置、形成及操作积体电路的方法、形成及操作半导体装置的方法 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI350579 |
申请公布日期 |
2011.10.11 |
申请号 |
TW096143663 |
申请日期 |
2007.11.19 |
申请人 |
台灣積體電路製造股份有限公司 新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 |
发明人 |
王士纬 |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼 |
主权项 |
一种积体电路装置,包括:一基底;一下电极,位于该基底上方,其中该下电极位于该基底上方之最低的金属层之中或其上方;一阻挡层,位于该下电极上方;一电荷陷捕层,位于该阻挡层上方;一绝缘层,位于该电荷陷捕层上方;一控制闸极,位于该绝缘层上方;一穿隧层,位于该控制闸极上方;以及一上电极,位于该穿隧层上。 |
地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |