| 发明名称 |
Method for Manufacturing a Conditioner for Chemical Mechanical Planarization Pad |
| 摘要 |
<p>본 발명에 의하면, 치수 재현성이 우수한 CMP 패드 컨디셔너를 생산성 좋게 제조할 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101072384(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.11 |
| 申请号 |
KR20090116514 |
申请日期 |
2009.11.30 |
| 申请人 |
|
发明人 |
|
| 分类号 |
B24D3/10;B24D18/00;C23C16/04;C23F4/02 |
主分类号 |
B24D3/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
