炉体移动式高纯晶体生长装置

摘要

本发明公开了一种炉体移动式高纯晶体生长装置，包括机架、安瓿、炉体和控制装置，所述的机架立柱上设置丝杠和纵向导轨，所述的丝杠同轴连接丝杠电机，所述的纵向导轨与滑座动配合，滑座上设置炉体；所述的炉体内设置炉芯，炉芯内同轴连接炉膛；所述的炉体下方的机座之间设置安瓿控制装置，所述的安瓿控制装置上设置驱动电机和安瓿旋转轴，两者通过同步带实现动力传动；所述的安瓿旋转轴连接安瓿支杆，安瓿支杆顶端设置安瓿，安瓿同轴连接于炉膛中轴线上；炉体下端设置与安瓿支杆动密封配合的炉体密封门。本发明的安瓿震幅小于1微米，高温恒温区温度不均匀性≤±1.5℃，低温恒温区温度不均匀性≤±2℃，设备持续工作时间不低于30天，无故障时间大于2年。

主权项

一种炉体移动式高纯晶体生长装置，包括机架(1)、安瓿(11)、炉体(12)和控制装置，其特征是：所述的机架(1)立柱上设置丝杠(3)和纵向导轨(5)，所述的丝杠(3)同轴连接丝杠电机(2)，所述的纵向导轨(5)与滑座(4)动配合，滑座(4)上设置炉体(12)；所述的炉体(12)内设置炉芯(9)，炉芯(9)内同轴连接炉膛(10)；所述的炉体(12)下方的机座(8)之间设置安瓿控制装置(7)，所述的安瓿控制装置(7)上设置驱动电机(15)和安瓿旋转轴(16)，两者通过同步带(6)实现动力传动；所述的安瓿旋转轴(16)连接安瓿支杆(13)，安瓿支杆(13)顶端设置安瓿(11)，安瓿(11)同轴连接于炉膛(10)中轴线上；炉体(12)下端设置与安瓿支杆(13)动密封配合的炉体密封门。