发明名称 Low temperature plasma generating device
摘要
申请公布号 EP1253621(B1) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 EP20020008643 申请日期 2002.04.17
申请人 REINHAUSEN PLASMA GMBH 发明人 ENGEMANN, JURGEN PROF.DR.DR.H.C.;SCHWABEDISSEN, AXEL DR.
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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