| 发明名称 | 用于制造微型机械装置的初始结构及形成微型机械装置的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于制造微型机械装置的初始结构，所述结构在操作配置中具有多个层，每个层顺序相互层叠，所述层包括第一牺牲层、第二牺牲层和所需下面层，所述第一牺牲层具有与所需下面层类似的材料蚀刻性能，所述第二牺牲层具有与所述所需下面层完全不同的材料蚀刻性能，其中所述第二牺牲层大致经得起用来去除所述第一牺牲层的材料，并且其中所述第二牺牲层能够在所述第一牺牲层通过所述蚀刻去除时保护下面层。 | ||
| 申请公布号 | CN1986386B | 申请公布日期 | 2011.10.05 |
| 申请号 | CN200610169098.9 | 申请日期 | 2006.12.20 |
| 申请人 | 施乐公司 | 发明人 | P·J·尼斯特伦;N·贾;K·刘 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 温大鹏;廖凌玲 |
| 主权项 | 一种用于制造微型机械装置的初始结构，所述结构在操作配置中具有多个层，所述多个层中的每个层按顺序相互层叠，所述多个层包括第一牺牲层、第二牺牲层和所需下面层，所述第一牺牲层具有与所需下面层类似的材料蚀刻性能，所述第二牺牲层具有与所述所需下面层完全不同的材料蚀刻性能，其中所述第二牺牲层经得起用来蚀刻去除所述第一牺牲层的材料，并且其中所述第二牺牲层能够在所述第一牺牲层通过所述蚀刻去除时保护所述所需下面层。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||