绝缘体插装型等离子体处理装置

摘要

在包括等离子体发生部、等离子体输送管和等离子体处理部的等离子体处理装置中，在等离子体输送管的始端侧与终端侧之间插装绝缘体以及绝缘体，构成使等离子体输送管与等离子体发生部和等离子体处理部电气地独立的绝缘体插装型等离子体处理装置。将等离子体输送管由插装于其间的中间绝缘体分割成多个小输送管(B01、B23)，使各小输送管电气地独立。使等离子体输送管或者多个小输送管成为电气浮动状态、或者连接输送管用偏置电源(EB01、EB23)，以使得能够将等离子体输送管或者小输送管的电位设定为GND、可变正电位或者可变负电位。此外，使小输送管弯曲状地连续地设置而通过几何学的构造去除微滴。

主权项

一种绝缘体插装型等离子体处理装置，包括：等离子体产生部，在真空气氛下进行真空电弧放电而从靶表面产生等离子体；等离子体输送管，输送由所述等离子体发生部产生的等离子体；以及等离子体处理部，通过从所述等离子体输送管供给的等离子体对被处理物进行处理，其特征在于，在所述等离子体发生部与所述等离子体输送管之间插装始端侧绝缘体，在所述等离子体输送管与所述等离子体处理部之间插装终端侧绝缘体，使所述等离子体发生部、所述等离子体输送管以及所述等离子体处理部相互电气地独立，切断了针对等离子体输送管的来自所述等离子体发生部和所述等离子体处理部的电气影响。