检测传感器、检测传感器的振子

摘要

一种检测传感器(10)，其使用多个悬臂型振子，并且避免振子之间的干扰，高精度且高效地进行检测，该检测传感器(10)具有长度相互不同的振子(30A、30B、…)。这些振子(30A、30B、…)在将任意振子的长度设为L、谐振频率设为f0时，长度L的振子与其他振子的长度差ΔL被设定为2(ΔL/L)＞1/Q。

主权项

一种检测传感器，其特征在于，该检测传感器具有：多个振子，它们为一端被固定的梁状，并且振动特性根据具有质量的物质的附着或吸附而发生变化；驱动部，其使所述振子振动；以及检测部，其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质，多个所述振子的长度相互不同，在将任意的所述振子设为长度L时，长度L的所述振子与其他所述振子的长度差ΔL被设定为2(ΔL/L)＞1/Q  (其中，Q为所述振子的Q值)，所述驱动部以与多个所述振子各自的谐振频率对应的频率使所述振子振动。