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发明名称
摘要
申请公布号 JP4787154(B2) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 JP20060514892 申请日期 2004.06.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/312;C23C16/56;H01G4/236;H01L;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/469;H01L21/768;H01L23/14;H01L23/522 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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