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发明名称 ADJUVANT FOR CMP SLURRY
摘要
申请公布号 EP2007550(A4) 申请公布日期 2011.09.28
申请号 EP20070745940 申请日期 2007.04.12
申请人 LG CHEM, LTD. 发明人 YI, GI-RA;KIM, JONG-PIL;HONG, YOUNG-JUN
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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