主权项 |
1.一种双极型晶体管工艺偏差模型参数的在线测试及提取方法,采用根梅尔-普恩模型对双极型晶体管件进行建模,其特征在于:采用以下步骤测试及提取饱和电流的工艺偏差模型参数:第一步,将根梅尔曲线的测试回路中的基极与集电极短接,参考电平射极电压Ve为0;第二步,使基极电压与发射极电压差Vbe从0.1伏扫描至0.8伏,选取其中任意两个或多个点,测试其对应的集电极电流Ic值;第三步,取各点的集电极电流Ic的对数值放入Ic-Vbe坐标中,集电极电流对数值-基极电压曲线近似一次线性函数,通过测试的各点坐标推导出线性函数Y=AX+B;其中X代表Vbe值,Y代表Ic的对数值;第四步,根据所推导的线性函数Y=AX+B,选取两点坐标计算出线性函数Y=AX+B中的A和B值;第五步,根据IS=10<sup>B</sup>,<img file="FSB00000533345900011.GIF" wi="268" he="139" />求出IS和NF的值;其中IS代表传输饱和电流,NF代表正向电流发射系数,V<sub>T</sub>=26mV,Log(e)=0.434;第六步,在线进行全硅片测试得到IS和NF的工艺偏差范围;第七步,把实际测试得到的IS和NF的范围应用到双极型晶体管BJT的模型文件中。 |