发明名称 化学试剂容器
摘要 本实用新型公开了一种化学试剂容器,所述化学试剂容器包括:容器主体、设置于所述容器主体内的气囊以及控制系统,所述控制系统可根据所述容器主体内的液位控制所述气囊振动,避免容器主体内的化学试剂结晶;并且,由于充分搅动了化学试剂,可避免化学试剂存留在容器主体的边角内,有利于抽取化学试剂,提高化学试剂的利用率。
申请公布号 CN201990014U 申请公布日期 2011.09.28
申请号 CN201020683185.8 申请日期 2010.12.27
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 赵晶
分类号 B65D23/04(2006.01)I 主分类号 B65D23/04(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种化学试剂容器,其特征在于,所述化学试剂容器包括:控制系统、容器主体以及设置于所述容器主体内的气囊,所述控制系统能够根据所述容器主体内的液位控制所述气囊振动。
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