一种硅棒切方前同心度测定装置

摘要

本实用新型公开了一种硅棒切方前同心度测定装置，它包括一个夹具和一根立柱，夹具可转动连接在台座上，立柱竖直固定在台座上，立柱上可滑动连接有一个千分尺。具体测定时，把晶托放置在夹具内并使晶托与原料硅棒的粘合体与工作台竖直，并夹紧晶托，然后调节千分尺，使千分尺的探头与原料硅棒的外周面贴实，转动夹具一周，即可测出在一个水平位置的粘合体的同心度并在粘合体的外表面上作出记号；然后调节千分尺的高度，在另一水平位置再作同样的测量，以此类推，即可定量的测出粘合体的整体同心度，与传统的直角三角尺测定同心度相比，使粘合体的同心度调整有个准确的数据作为依据，加快了同心度调整的速度。

主权项

一种硅棒切方前同心度测定装置，其特征在于它包括一个夹具（2）和一根立柱（3），所述夹具（2）可转动连接在台座（1）上，所述立柱（3）竖直固定在台座（1）上，所述立柱（3）上可滑动连接有一个千分尺（4）。